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  • 在線(xiàn)式氣體分析儀
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  • 監(jiān)測(cè)系統(tǒng)解決方案
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  • DKG-TGV301 示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能測(cè)量系統(tǒng)

    DKG-TGV301 示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能測(cè)量系統(tǒng)

    概述

    隨著能量效率的提高,以及排氣通風(fēng)設(shè)施的物理限制變得更加明顯,半導(dǎo)體設(shè)備的排氣通風(fēng)的優(yōu)化變得越來(lái)越重要。設(shè)備的排氣通風(fēng)設(shè)計(jì)不合理,可能會(huì)造成操作人員的傷亡,引起設(shè)備乃至整個(gè)工廠的燒毀。

    半導(dǎo)體行業(yè)需要測(cè)量機(jī)臺(tái)通風(fēng)效率,滿(mǎn)足SEMI S6 Ventilation行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

    SEMI S6 Ventilation是使用示蹤氣體測(cè)定逸散性排放的試驗(yàn)方法,考量含 HPM或易燃易爆氣體的半導(dǎo)體裝備通風(fēng)效率。

    SF6作為示蹤氣體模擬泄漏氣體,因此,對(duì)SF6檢測(cè)儀的檢測(cè)精度要求極高。


    檢測(cè)方案

    高靈敏度的光聲光譜氣體檢測(cè)系統(tǒng),是一套用于在線(xiàn)實(shí)時(shí)測(cè)量示蹤氣體濃度變化,從而評(píng)估通風(fēng)效率的準(zhǔn)確、可靠、高效的解決方案。

    光聲光譜氣體分析儀可以同時(shí)檢測(cè)最多9種氣體和水汽,檢測(cè)氣體種類(lèi)是從一個(gè)超過(guò)300種的氣體數(shù)據(jù)庫(kù)中由用戶(hù)選擇。除了SF6等示蹤氣體之外,還可以同時(shí)檢測(cè)室內(nèi)其它的氣體濃度,比如CO2、甲醛、苯系物等VOC,為評(píng)價(jià)半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)通風(fēng)效率提供更多的數(shù)據(jù)支持。

    整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)由光聲光譜氣體檢測(cè)儀、多點(diǎn)采樣器、專(zhuān)用軟件組成;在用戶(hù)要求的情況下,還可以集成釋放裝置MFC,管路等一體化解決方案。


    特性


    應(yīng)用


    技術(shù)參數(shù)

    測(cè)量氣體——示蹤氣體SF6等,可選擇氣體種類(lèi)超過(guò)300種

    量程

    根據(jù)氣體不同,量程可定制

    量程比

    1:100000

    分析下限

    Sub-ppb to sub-ppm

    準(zhǔn)確度

    2%

    響應(yīng)時(shí)間

    3~10秒

    標(biāo)定

    出廠標(biāo)定完成

    工作條件

    溫度范圍

    0℃~+45℃

    濕度范圍

    低于90%RH,無(wú)凝露

    壓力范圍

    大氣壓

    防護(hù)等級(jí)

    IP20(IEC 529)

    振動(dòng)試驗(yàn)

    33 Hz強(qiáng)振

    儲(chǔ)存條件

    溫度范圍

    -20℃~+60℃

    采樣條件

    溫度范圍

    0~+49℃無(wú)凝露

    壓力范圍

    930 mbar~1100 mbar

    濕度范圍

    露點(diǎn)+8℃或更高

    氣體流量

    60 ml/min~300 ml/min

    顆粒物

    <1μm

    尺寸

    48.4cm Wx13.9cm Hx40.5cm D(19.1in Wx5.5in Hx16.0in D)

    重量

    約13 kg

    氣體接口

    專(zhuān)用3mm管快速插頭,可根據(jù)后續(xù)需要擴(kuò)展多種規(guī)格接頭

    電氣接口

    工作電源

    100~240VAC,50~60 Hz

    輸入功率

    100W

    通訊接口

    Ethernet、USB、AK

    檢測(cè)儀配備兩路采樣接口,配有粉塵顆粒物過(guò)濾器

    內(nèi)置抽氣泵,最遠(yuǎn)距離為100米;內(nèi)置帶有7"前置顯示器的嵌入式計(jì)算機(jī)

    數(shù)據(jù)存儲(chǔ)約2GB,存儲(chǔ)數(shù)據(jù)量可達(dá)2年(連續(xù)采樣檢測(cè)間隔15s)

    測(cè)量結(jié)果可以通過(guò)U盤(pán),USB口,Ethernet網(wǎng)口,串口導(dǎo)出

    自動(dòng)去除包括水汽、顆粒物等采樣氣體的干擾

    可配置多點(diǎn)采樣器,12/24/32/64通道可自由選擇

    多點(diǎn)采樣器使用低吸收率的SiO2涂層的不銹鋼閥組

    多點(diǎn)采樣器每個(gè)通道選擇時(shí)間可以從1~99min

    可配置釋放裝置MFC和管路


    咨詢(xún)電話(huà) 010-8243-3533