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  • 阿瑞斯-μVOC 空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

    78-在線式電池自燃.jpg

    概述:

    空氣分子污染物(AMC)對(duì)于高科技生產(chǎn)過(guò)程是關(guān)鍵性因素,特別是微電子行業(yè),有機(jī)污染物是生產(chǎn)過(guò)程中的消極因素,會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題而產(chǎn)生的成本增加。


    無(wú)空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo),通過(guò)污染物源頭控制、傳播控制,實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級(jí)過(guò)濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn),持久監(jiān)測(cè)AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過(guò)濾器突發(fā)性壽命減少等。


    阿瑞斯-μVOC提供給客戶一個(gè)實(shí)時(shí)快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測(cè)方案,不需要采樣,離線測(cè)量。


    檢測(cè)限達(dá)到sub-ppb級(jí)

    潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC,內(nèi)部來(lái)自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過(guò)程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護(hù)修理時(shí)散發(fā)等,外部來(lái)自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物,以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

    一旦AMC空氣分子污染物超標(biāo)會(huì)引起一系列嚴(yán)重后果,比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。


    可測(cè)組份

    2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH

    (t-乙酸丁脂)二羥基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH

    2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH

    六甲基二硅胺烷(CH3 ) 3SiNHSi(CH3)3

    異丙醇(CH3 ) 2CHOH

    二乙氨基乙醇(C2H5)2NC2H5OH

    乙醇胺 H2NCH2CH2OH

    鄰苯二甲酸二辛酯C6H4(C=OOC8H15)2

    環(huán)己胺C6H11NH2

    鄰苯二甲酸二乙酯C6H4(C=OOC2H5)2

    環(huán)聚二甲基硅氧烷(-Si(CH3)2O-)n

    鄰苯二甲酸二丁酯 C6H4(C = OOC4H9)2

    對(duì)二氯苯CIC6H4CL

    三乙胺(C2H) 3N

    鄰苯二甲酸二壬酯C6H4(C=OOC9H19)2

    鄰苯二甲酸二環(huán)己酯C6H4(C=OOC6H11)2

    鄰苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2

    磷酸三乙酯(C2H5O ) 3P=0

    十甲基環(huán)五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)5

    十二甲基環(huán)五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)6

    二甲苯(CH3)2C6H4

    三甲酚磷酸酯(CH3C6H4O ) 3P=0

    三甲基硅醇C3H10OSi

    ......



    亮點(diǎn)

    一般特點(diǎn):

    • 在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測(cè)全部自動(dòng)化系統(tǒng)

    • 低濃度VOC監(jiān)測(cè)

    • 獨(dú)立分開(kāi)測(cè)量有機(jī)物成份

    • Sub-ppb檢測(cè)限

    • 集成計(jì)算機(jī)和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能

     

    應(yīng)用

    • 潔凈間污染物監(jiān)測(cè)

    • 過(guò)濾器狀態(tài)監(jiān)測(cè)

    • 加工過(guò)程全組份測(cè)量診斷污染物







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